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话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子了。

蓝河科技研发部,一尘不染的恒温实验室内,盛明安位于主位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。

组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

euv光源系统现实工作,激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变成肉眼可观测。

仿真建模观测一小时后,放大雕刻后的晶片,宛如一个个充满未来感的城市。

杜颂吞咽口水,紧张问:“怎么样?”

雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当初预料结果一致,如无意外,方案可行。”

身后传来一阵激动的欢呼声,不过很快压下来,众人纷纷看向没开口的盛明安,他才是实验室的主心骨,他点头了才算实验成功!

但不可避免的,他们此刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。

无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成果!

无数日夜的数据优化、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个日夜的心血全数系在这一刻!

盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优化仿真实验结果,结果表明优化后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明――

“方案可行。”

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